| 加工方式： | 其它 | 生产线数量： | 10台 |
| 日加工能力： | n | 无铅制造工艺： | 其它 |
| 免费打样： | 支持 | 型号： | Sm150 |
| 规格： | n | 商标： | Sawatec |
| 包装： | n | 晶圆： | 6寸以内 |
匀胶机SM-150
匀胶机 SM-150 是手动或半自动薄膜涂覆的 选择，适用于表面没有或有非常矮形貌的基板涂胶作业。所有市面上的光刻胶与涂层材料都可被均匀涂覆到尺寸为 150mm (6”)127x127mm (5”x5”)的基板上。工艺腔设计可满足直径为 176mm。
SM 系列的优点在于，具有令人信服的高度涂膜均匀性和工艺重复性，并且操作简单、使用舒适。为了使花费在工艺腔清洁上的精力缩小化，SAWATEC 公司开发了一种极其实用且经济的工艺腔保护碗。工艺结束后，可以简单地移除和清理这种保护 碗。经由如此的 设计，也可以将维护成本 化。因此，SAWATEC匀胶机可被优先应用于实验室，研发，试产项目以及研究所。
该匀胶机可提供桌面便捷式和内嵌式两种。
功能(基本配置)
可编程，50 个程序(各包含 24 个程序段)
适用于重复工艺的快速启动功能
触摸屏面板控制，方便用户程序配置
工艺参数：转速、加速度、工艺时间
旋转方向可选 (顺时针、逆时针)
手动装卸基板
通过具有安全保护的真空系统进行基板固定
手动盖子带有空气入口和闭合安全保护
工艺结束时的声音信号
性能数据
转速范围：0 到 10,000rpm +/-1rpm
转速加速度：0–8,000rpm 为0.8秒/0–10,000rpm为1秒 1)
减速度：10,000rpm-0 为2.5秒/8,000rpm-0 为0.8秒 1)
工艺时间为 2376 s
每个程序段的给胶时间为 99 s
取决于基板尺寸和旋转卡盘的型号附加功能(可选项)
半自动的管式给胶系统，带有手动给胶手臂和回吸功能的 50ml 玻璃注射管
工艺腔的手动氮气净化装置
用于简化操作的“启动/停止”脚踏开关(电缆长度 1.8m)
经阳极电镀处理的铝制工艺腔
铝制或 PE(聚乙烯)材料制成的工艺腔保护碗
用于 SM-150 匀胶机的真空泵
晶圆 2”–6”(圆形)
旋转卡盘分类
为了达成 涂覆效果，我们提供了不同尺寸、材料和设计的旋转卡盘。根据用途的不
同，可使用单块结构或具有光学辅助置 能的两部分构成的旋转卡盘。为避免基板背
面被弄脏，有时不仅要选择 的旋转卡盘尺寸，还要采用专门的卡盘设计。旋转卡盘
的更换过程非常简单，不需要使用工具。
真空卡盘小片
真空卡盘 1”至 3”(圆形)
真空卡盘 100mm(4”)至 150mm(6”)
真空卡盘 100x100mm(4”x4”)
真空卡盘 125x125mm(5”x5”)
其他卡盘需咨询
设计和尺寸
桌上式版本 SM -150-BT 内嵌式版本 SM-150-BM
紧凑且节省空间的结构形式
POM(聚甲醛树脂)材料制成的工艺碗，确保了高材料兼容性
POM(聚甲醛树脂)材料制成的集成式防溅环，确保无光刻胶溅出。
透明盖板：玻璃制成
具有 3.5” 彩色显示屏的触摸屏面板
高精度，高动态的交流伺服电机
经电解抛光处理的不锈钢外壳
安装模块(BM): 300 x 300 x 368mm (长 x 宽 x 高)
外壳(BT): 350 x 510 x 403mm (长 x 宽 x 高)
安装面板(BM): 320 x 166 x 50mm (长 x 宽 x 高)
重量(BT): 约 29kg 重量(BM): 约 20kg
接口
230 VAC 50/60Hz 10A
脚踏开关用插头接口
技术真空，软管 Ø6/4mm(-0.8bar)
压缩空气或氮气软管 Ø6/4mm(3bar)
( 于和给胶系统配合使用)
排放接口 Ø12mm
BT 废气接口 Ø38mm(20–50m3/h)
BM 废气接口 Ø25mm(20–50m3/h)
15720909537