加工方式: | OEM加工 | 生产线数量: | n |
日加工能力: | n | 无铅制造工艺: | n |
免费打样: | 支持 | 型号: | Spmv-h |
规格: | Spmv-h | 商标: | 螣芯科技 |
包装: | n | 功能: | 微波去胶 |
产品特点
产品放置治具灵活多变,可适应不规则的产品
无电极微波设计,可满足软性产品处理需求。
没有UV紫外线照射
低温等离子体,避免对产品产生热损伤
电中性等离子体,对产物无电破坏
配置磁流体旋转架,增加Plasma处理均匀度
高效、均匀的微波等离子输出,保障蚀刻效率
行业应用
PCB/FPC行业:孔内钻污及表面清洁、Coverlay表面粗化及清洁
半导体行业:半导体封装、摄像头模组、LED封装、BGA封装、Wire Bond前处理
陶瓷:封装、点胶前处理
表面粗化蚀刻:PI表面粗化、PPS蚀刻、半导体硅片PN结去除、ITO膜蚀刻
塑胶材料: 特 龙表面活化、ABS表面活化、以及其他塑料材质清洗活化
ITO涂覆前表面清洗
电源系统 | 电源类型 | 微波电源 |
功率 | 0~1250W | |
频率 | 2.45GHz | |
真空系统 | 双级旋片泵(油泵) | 60m3/h(可选择干泵) |
真空管路 | 全不锈钢管路,以及高强度真空波纹管 | |
材质 | 铝合金(可定制不锈钢腔体) | |
厚度 | 25mm | |
密封性 | 级焊接密封 | |
腔体内部尺寸 | 450×450×450mm(宽×高×深) | |
工作空间 | 6个 区间 | |
ECR | 开槽Magazine我们提供ECR增强处理效果 | |
托盘旋转 | 磁流体控制托盘旋转 | |
气体系统 | 流量范围 | 0~300SCCM |
工艺气体气路 | 标配两路 CF4气体可选配 | |
控制系统 | 系统控制 | PLC |
交付方式 | 7寸触控屏幕 | |
其它参数 | 外形尺寸 | 1300×2100×1200mm(宽×高×深) |
重量 | 250KG | |
设备外观颜色 | 银灰色 |